2002年，光刻机被列入国家高科技研究发展计划（863计划）。江上舟牵头，由科技部和上海市共同推动成立了上海微电子装备有限公司来承担主要技术攻关任务。上海微电子让中国光刻机技术取得重大的进步，还实现了出口。
江上舟本人是2012年因为肺癌去世的，临去世之前，他人在病房还参加电话会议。