第297章 走不了捷径:走捷径(第2/5页)

郑老笑了起来,示意上桌的黄鱼面,“那这不是大米饭,起码得是个蛋炒饭。”

桌上又是笑声一片。

看看这面汤雪白,面条里头又是黄鱼又是雪菜,不可谓不丰盛。

王潇笑着帮忙调整送上桌的小菜的位置,一碟子烤麸,一碟子凉拌黄瓜,一碟子盐水蚕豆,都是送的。

她接过话头,“那也不行,蛋炒饭我也得吃菜。”

面条一份份上桌,包厢窗子开着,江风将浓郁的鲜香味送到大家鼻腔里,引得人胃里的馋虫都蠢蠢欲动,一个个开始埋头呼呼干面。

别看王潇嘴上强调,吃面条要配菜。事实上真正意外鱼汤面在手,她就专心吃面条。

哎呦,这个汤确实熬到位了。没有油也没有加葱蒜,居然不腥,就一个字——鲜。汆熟的黄鱼,夹在筷子上都不散,入口就是嫩。鱼刺被全部拔干净了,吃在嘴里就是爽。

郑老先生认认真真地吃面,完了还不忘把汤都给喝完。

最后他才放下碗,慢条斯理地擦嘴巴:“你要问什么,拿出来看看吧。”

助理赶紧帮忙拿出了资料,王潇亲自送到他手上:“我记得之前您说,我们的光刻机研发方向有问题。我想请您看看,这个方向可以吗?”

郑老先生的英语口语水平一般般,但在其他方面,尤其是专业英语方面,他能吊打在场所有人,包括王潇从微电子所请的专家。

他一边翻看资料,一边询问:“你们不打算缩短波长?”

所谓的光刻,就是将芯片制造的关键步骤,通过电路图案转移到硅片上。

波长的意义在于,波长越短,分辨率越高,能制造更小的晶体管。

这些年,光刻技术进展也很快,一路从g-line(436nm)、i-line(365nm),走到了KrF(248nm),分辨率也一路上升。

只是目前卡在了130nm制程上,它需要更高的分辨率。传统汞灯(i-line,365nm)和KrF准分子激光(248nm)的分辨率怎么也达不到这个标准。

国际上比较知名的光刻机厂商,像日本的尼康、佳能还有荷兰的ASML等,都将目光投向了更短的193nm波长(ArF准分子激光)。

王潇摇头:“不,我们要做193nm的波长,不过不做干式的,直接做浸润式的。”

她解释了一句,“我们再追下去没意思,跟着人家屁股后面,越追越远,不如弯道超车。”

郑老先生意味深长道:“那这一枪打出去,可未必有鸟。”

跟着人家屁股后面搞研发,看上去好像有点上不了台面,但实际上这是效率最高,成功概率也最高的研究方式。

因为先行者替你把所有的雷都趟了一遍了,不用你把精力浪费在已经失败的道路上。

王潇也明白第一个吃螃蟹的人,往往不是行业巨佬。研发经费过高,对企业经营来说,风险也随之增高。

赌错了,就是万劫不复。

她点点头:“先打一枪试试看。”

郑老先生没有再劝她三思而后行,而是放下了手上的资料,分析她要面临的问题:“那你这就是两步走。”

他在桌上放了两片蚕豆壳,然后指着左边的蚕豆格示意:“首先是单纯的193nm的机器,要有稳定的193nm ArF准分子激光器,来解决了激光功率低、寿命短的问题。”

他又在左边放下了一片更小的蚕豆壳。

“你还得有高纯度的熔融石英透镜,要保证折射率在193nm波段的稳定性,来确保成像精度。光刻胶也得更新换代,灵敏度要提升,才能满足193nm曝光需求。”

他伸手点了点左边的三片蚕豆壳,“等到这一代的机器做出来以后——”

他将手转移到了右边,“后续才是193nm的浸润机。”

黄副市长听的真着急,因为哪怕他是门外汉,他也知道193nm的干式机,对国内目前的水平来讲,属于妥妥的可望不可即的高度。