第1621章 从40nm到27nm的跨越(第3/3页)

总之,已经是目前最强的一档。

是过去一般认为,只有EUV光刻机才能够涉足的领域。

看到对方的视线已经不再移动,常浩南终于给出了阶段性的结论:

“这个能力,足以覆盖当前TSMC、三星等厂商定义的7nm,乃至未来3-5年内可能出现的更先进节点的全部生产需求!而且,都是依靠单次曝光工艺就能稳定实现的。”

“更重要的是,ArF-1800光刻机的主体架构,除了这个革命性的物镜组以外,其余光源系统、精密工件台、掩模台以及对准器等核心子系统,都沿用了ArF-1500平台上的成熟设计,最大程度地保证了设备的可靠性用户的转产速度。”

说到这里他稍作停顿,让栾文杰有些缓冲的时间。

之后,又掷地有声地强调:

“这意味着,一旦设备交付,华芯国际能够在最短时间内完成产线切换和产能爬坡,无需漫长的调试和适应期,供应链的每一个环节,从材料、设计到制造,都牢牢掌握在我们自己手中,稳定、安全、可控!”