第二百五十九章 p型、n型、共掺杂（第4/4页）

写完这句话，陈舟突然笑了出来。

“这么简单的道理，为什么我还想了这么久？”

相比单纯的氮掺杂金刚石，sp3－CH3形式的H原子更容易掺入磷—氮共掺的金刚石晶格中，提高共掺杂金刚石的质量。

因为在磷—氮共掺系统中，磷原子掺入后产生许多缺陷，形成了碳原子悬挂键，有助于氢原子掺入金刚石晶格。

而氢原子可以刻蚀sp2相，有利于高质量金刚石薄膜的沉积。

“系统和氮源、磷源确定后，那共掺杂实验剩下的问题，就好解决了……”

陈舟说着，把放在一旁的几张草稿纸拿了过来。

这是在研究氮源和磷源时，针对不同情况，陈舟所做的参数研究。

这会，正好拿来验证。

一般的衬底温度、掺杂浓度、工作压力等等等等，通过错题集的试错，很快就能得到一个大致区间。

再经过分析模型的验证，再回转到错题集进一步试错。

那就成了！

把共掺杂的问题一解决，那n型掺杂的问题，也就是铺在纸面上的答案了。